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世伟洛克 ( 上海 ) 流体系统科技有限公司

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超高纯IGC®II集成式气体组件

超高纯IGC®II集成式气体组件

世伟洛克®IGC II系统由重量轻、易于组装的元件及标准硬件组成,可以定制适合于任何应用的流体配置。金属密封能够防止气体吸附或渗透,成为理想的高纯系统解决方案。附送的IGC II系统配置工具能够简化组件选择,布局设计和订购。

典型IGC II系统由三层构成—基座组件、阀组组件、安装组件。

  • 基座组件提供工艺气体流过气控模块的流道
  • 阀组组件提供两组或更多组平行气控模块间的流道
  • 基座-阀组组件上可以安装任何1.5英寸(38.1 mm)的C形环表面安装组件。
  • 转换连接板能够用于在模块平台上组装质量流量计,孔口管接头能够在基座或阀组上安装1/4”竖直卡套管接口。
  • 低压隔膜阀,DP系列
  • 波纹管密封计量阀—BM系列
  • 原子层沉积阀,ALD阀
  • 大流量调压阀,HF系列
  • 超高纯压力表,PGU系列
  • 超高纯压力传感器,PTU系列

表面安装组件

垫片和垫片组件

规格

  • 1.5英寸(38.1 mm)模块化系统用C形环式密封件
  • 316L不锈钢结构材料
  • 氦气防漏完整性小于1 × 10–9 std cm3/s

 

基层/阀组

规格

70℉(20℃)条件下的压力额定值 3000 psig(206 bar)
温度额定值 248℉(120℃)工作温度,
302℉(150℃)烘干温度
浸湿材料 316L VIM-VAR不锈钢
内部表面光洁度 5微英寸(0.13 µm)Ra

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"安全的产品选择:请务必查看全部产品目录内容以保证系统设计者和用户进行安全的产品选择。选择产品时,必须考虑总体系统设计以保证获得安全的、无故障的性能。功能、材料兼容性、充分的额定值、正确的安装、使用和维护是系统设计者和用户的重要责任。

注意:切勿将世伟洛克产品与其他品牌的产品混合使用。"