超高纯IGC®II集成式气体组件

超高纯IGC®II集成式气体组件

世伟洛克®IGC II系统由重量轻、易于组装的元件及标准硬件组成，可以定制适合于任何应用的流体配置。金属密封能够防止气体吸附或渗透，成为理想的高纯系统解决方案。附送的IGC II系统配置工具能够简化组件选择，布局设计和订购。

典型IGC II系统由三层构成—基座组件、阀组组件、安装组件。

• 基座组件提供工艺气体流过气控模块的流道
• 阀组组件提供两组或更多组平行气控模块间的流道
• 基座-阀组组件上可以安装任何1.5英寸（38.1 mm）的C形环表面安装组件。
• 转换连接板能够用于在模块平台上组装质量流量计，孔口管接头能够在基座或阀组上安装1/4”竖直卡套管接口。
• 低压隔膜阀，DP系列
• 波纹管密封计量阀—BM系列
• 原子层沉积阀，ALD阀
• 大流量调压阀，HF系列
• 超高纯压力表，PGU系列
• 超高纯压力传感器，PTU系列

表面安装组件

垫片和垫片组件

规格

• 1.5英寸（38.1 mm）模块化系统用C形环式密封件
• 316L不锈钢结构材料
• 氦气防漏完整性小于1 × 10–9 std cm3/s

基层/阀组

规格

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